Система за пречистване на високочист азот за полупроводникови приложения
Устройството за пречистване на азот от тип добавяне на въглерод и деоксидация допълнително обработва 99,9% от азота, извлечен от механизма за генериране на азот, което води до химическа реакция на 0,1% от кислорода в азота с въглероден деоксидатор за генериране на въглероден диоксид, и допълнително отстранява въглеродния диоксид и водните пари от азота, пречиствайки го до над 99,999%, подобрявайки качеството на получения газ и го адаптирайки към индустрии със специални изисквания за чистота и качество на газа.
Обхват на приложение
Подходящ за потребители на азот с висока чистота, особено за магнитни материали, електронна промишленост и други процеси, които имат строги изисквания към кислород и водород.
Технически параметри
| Модел | (Нм³/h) | ДН (мм) Вход/Изход Диаметър | (кг) Тегло на въглерода дезоксидатор | Охлаждане вода (т/ч) | Приложена мощност(кВт) | Зона за оборудване размер(мм) | (HBTDC) Тегло от 13 X молекулно сито(кг) | |||
| ЛГБТ | HBTDC | ЛГБТ | HBTDC | ЛГБТ | HBTDC | |||||
| ЛГБТ-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0.2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| ЛГБТ-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 | 22.5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| ЛГБТ-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0.8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| ХБТ-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| ХБТ-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1.5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| ХБТ-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1.9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| ХБТ-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| ХБТ-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| ЛГБТ-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | 1440 г. | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| ХБТ-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Забележка: Горните данни са базирани на подаван въздух от 0,8 МПа(G), околна температура 20℃, надморска височина 0 m и относителна влажност 80% като проектна база. Забележка 2: Мощността се изчислява въз основа на дебита. Мощността в таблицата се определя според дебита при чистота 39%. | ||||||||||
