Пречиствател/Система/Генератор за пречистване на газ с ултрависока чистота

Области на приложение: електронни полупроводници, широкомащабни интегрални схеми, МАМС, монокристален силиций, поликристален силиций и силициева епитаксия, Светодиод, TFT, галиев нитрид, силициев карбид, научни изследвания и разработки, експериментален анализ и др.

Email

Характеристики

● Две кули с редуваща се адсорбционна регенерация, автоматична непрекъсната работа.
● Фитинги за тръби от полирана неръждаема стомана клас ЕП 316L.
● Степен на отстраняване до 99.9999999% с филтър от 0.003 мкм.
● Сименс ПЛК може да бъде свързан към ДКС система.
● Функцията за охранителна аларма е перфектна.
● Предлага се отдалечена облачна услуга.
● Производство и монтаж в супер чиста среда.
● Газов капацитет 10-20000nm3/h.

Параметри на таблицата

Серийни модели

За газ

Индекс на суровия газ

Индекс на продуктовия газ

Н2

НА2

Той

НА2

Н2НА

СО2

СО

CH4

Н2

Гранулярност

9VV

●

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

—

0,003 мм

9ОВВ

●

—

●

≤0,1 ppb

—

0,003 мм

9VVX

—

●

≤0,1 ppb

0,003 мм

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 мм

—

●

≤0,1 ppb

0,003 мм

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 мм

Забележка: Общи спецификации на потока:1-20000 Нм3/ч;Често използвано налягане:1-20Mpa

маркировката на продукта:

Вземете най-новата цена? Ще отговорим възможно най-бързо (в рамките на 12 часа)